特許文献１に開示された蓋把持装置では、楔クランプ部とクランプ部が協働するコレットチャックを用いて把持部を構成し、コレットチャックを軸方向に能動的に作動させるソレノイドを設けるとともに、楔クランプ部をクランプ部内に引き込む戻りスプリングを設置している。また、特許文献２に開示されたワークのチャッキング装置では、ＥＲ型コレットにより把持部を構成し、このコレットを半径方向に駆動するためのエアシリンダ構造を有する駆動機構を設けるとともに、逆の戻し側に軸方向と半径方向に復元させるための圧縮コイルばねと線ばねを設けている。
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図８には、第７実施形態のハンドリングユニット７０の正面図（ａ）及び縦断面図（ｂ）を示す。この第７実施形態では、第１実施形態と同様のコレット７１、ハウジング７２及び作動体７３を備え、第１実施形態と同様のコネクタ７８を介して流体供給口７２ｐから流体がシリンダ構造７２ｓ内に供給可能になっている。このため、第１～第６実施形態と同様に構成される部分の説明は省略する。ただし、本実施形態は、上記流体の流体圧が低減され若しくは消失された状態で、コレット７１の複数のフィンガー部７１ｃがその弾性変形部７１ｂの弾性復元力により拡径して把持対象物Ｐを内側から把持して把持状態となり、上記流体圧が増大され若しくは印加された状態で、駆動部７３ｃにより被動部７１ｔに駆動力が与えられることにより、コレット７１の複数のフィンガー部７１ｃが弾性変形部７１ｂの内側への弾性変形により把持対象物から退避して非把持状態となる点で第１実施形態と異なる。すなわち、コレット７１の把持対象物Ｐへの把持態様は第６実施形態と同様に内径把持であるが、基本的な構造は第１～第５実施形態と同様に構成される。ただし、作動体７３の動作によってコレット７１が把持状態から非把持状態へ移行し、作動体７３の退避によってコレット７１が非把持状態から把持状態に戻る点で、第１～第５実施形態とは逆になる。このコレット７１では、スプリングバック量が負の値に設計されており、駆動力を受けない状態で弾性変形部７１ｂの弾性復元力に基づく把持力が発生し、駆動力を受けることによる弾性変形に基づいて把持力が低下し若しくは消失する。
図７には、第６実施形態のハンドリングユニット６０の正面図（ａ）及び縦断面図（ｂ）を示す。この第６実施形態では、第１実施形態と同様のコレット６１、ハウジング６２及び作動体６３を備え、第１実施形態と同様のコネクタ６８を介して流体供給口６２ｐから流体がシリンダ構造内に供給可能になっている。このため、第１～第５実施形態と同様に構成される部分の説明は省略する。ただし、本実施形態は、コレット６１が把持対象物Ｐの内周部を内側から把持する把持面６１ｇを備える複数のフィンガー部６１ｃを備えている点で第１実施形態と異なる。また、この構成に対応して、作動体６３は、コレット６１の軸孔６１ｘの内部を通過して、コレット６１の内面の一部で構成される被動部６１ｔに内側から当接して駆動力を与える駆動部６３ｃを先端外面に備える。さらに、コレット６１は、ハウジング６２の内面の一部の支持面部６２ｍに（インロー状態で）嵌合する基準部６１ａを備えるとともに、その軸線方向基端側に、ハウジング６２の内面の一部に形成された雌ねじ部に螺合する雄ねじ部を備えた被固定部６１ｅを備える。この実施形態では、コレット６１は、被固定部６１ｅのハウジング６２に対する螺合によって軸線方向の位置が固定され、基準部６１ａのハウジング６２の支持面部６２ｍに対する嵌合によって軸線に沿った同軸状の位置及び姿勢が保持されている。これにより、上記各実施形態と同様に、作動時においてコレット６１の位置及び姿勢が維持されながら作動体６３の駆動部６３ｃにより把持動作が行われるため、把持精度や繰り返し精度を向上できる。
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例えば、コレット１１は自動調心機能を有するので、基本的には、把持状態において複数の弾性変形部１１ｂ又はフィンガー部１１ｃの弾性変形量や歪などに大きな差異はないが、大きな差異がある場合には把持態様に何らかの不具合が生じていると考えることができる。例えば、把持対象物Ｐが柔らかい上に、把持動作時のハンドリングユニット１０の軸芯位置がずれていたことにより、複数のフィンガー部１１ｃが把持対象物Ｐを把持する際に偏心した状態で把持対象物Ｐを噛み込んでしまい、その結果、コレット１１の調心機能が発揮されずに、偏心状態のままで把持状態になった場合には、各フィンガー部１１ｃの把持態様が異なったまままとなるため、上記の大きな差異が生ずる可能性がある。したがって、この場合には、一旦、非把持状態に戻してから、圧力調整器Ｐ１の流体圧を低下させ、把持力を低下させた状態で、再度、把持状態に移行させる。また、上記とは逆に、把持力が弱すぎることによって把持対象物Ｐが把持面１１ｇからずれる場合にも、把持態様検出器Ｓ３～Ｓ５の検出信号Ｓｄによってこれを検知し、一旦、非把持状態に戻してから、流体圧を高めた上で、再度、把持状態へ移行させるか、或いは、そのまま流体圧を高めて把持力を増大させる。なお、把持態様検出器Ｓ３～Ｓ５としては、複数の弾性変形部１１ｂ又はフィンガー部１１ｃの間の検出値の異同或いは差若しくは比ではなく、各弾性変形部１１ｂと、これに接続されるフィンガー部１１ｃとの間の軸線方向の歪量を検出することによって、フィンガー部１１ｃが把持対象物Ｐを把持している把持力そのものを検出することも可能である。この把持力の検出値は、上記複数の弾性変形部１１ｂ又はフィンガー部１１ｃの間の検出値の異同或いは差若しくは比と同様に用いることができる他に、把持対象物Ｐの硬さを判定（推定）するデータとして用いることができるので、このデータに応じて、上記流体圧の調整により把持力を適切な範囲に修正することも可能である。
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前記筒体の前記軸体よりも前記基部側に収容され、前記軸体を先端方向に付勢するコイルばねと、
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通気口２２ｑへエアなどの流体を供給し、軸孔２１ｘ内から外部へ流体を噴出させることにより、コレット２１の内部に紛れ込んだ粉塵やフィンガー部２１ｃの把持面２１ｇ上に付着した塵埃などを吹き飛ばし、各所を清浄化することができる。また、通気口２２ｑと軸孔２１ｘを介して吸引を行うことによって、フィンガー部２１ｃの内側へ把持対象物を吸引して、既定の把持位置まで把持対象物を引き込んだり、吸引力そのものによって把持対象物を保持したりすることができる。ここで、上記吸引力を増大させるために、上記スリット１１ｓに相当するスリット２１ｓの内部にシリコーン樹脂などの変形容易なシール材を配置し、把持対象物が複数のフィンガー部２１ｃの各把持面２１ｇによって把持されたとき、コレット２１の内部が外部とほとんど連通しなくなるように構成してもよい。
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コレット１１は、軸線方向の一部を構成する基準部１１ａを有する。基準部１１ａは、図示例では、後述する作動体１３の内面に対して軸線１０ｘに沿って摺動可能に支持されることにより、軸線１０ｘに対する同軸状の位置及び姿勢が保持された状態となっている。図示例では、基準部１１ａは、軸線１０ｘに沿って同径に形成された円筒面状の外周面を備える一体の筒形状に構成される。この基準部１１ａの軸線１０ｘの方向の先端側（図示左側、以下、単に「軸線方向先端側」という。）には、複数の弾性変形部１１ｂが接続される。弾性変形部１１ｂは、上記基準部１１ａよりも弾性変形が容易な形状寸法となるように構成される。図示例では、弾性変形部１１ｂは、基準部１１ａより薄肉であり、かつ、軸線１０ｘの周りの周方向にスリット１１ｓにより分断された構造とされることで、個々に容易に弾性変形するようになっている。図示例では、軸線１０ｘの周りに３つの弾性変形部１１ｂが、軸線１０ｘの周りに３回対称性を備える態様で、等角度間隔に形成される。コレット１１の軸線１０ｘに沿った内部は軸線方向に貫通した軸孔１１ｘとなっている。
図３には、第２実施形態のハンドリングユニット２０の縦断面図（ａ）及び背面図（ｂ）を示す。この第２実施形態では、第１実施形態と同様のコレット２１、ハウジング２２及び作動体２３を備え、第１実施形態と同様のコネクタ２８を介して流体供給口２２ｐから流体がシリンダ構造内に供給可能になっている。このため、第１実施形態と同様に構成される部分の説明は省略する。ただし、本実施形態は、ハウジング２２の支持部２２ｄに設けられた通気口２２ｑにコネクタ２９を接続し、コネクタ２９を介して通気口２２ｑから軸孔２１ｘ内へ流体を供給したり、軸孔２１ｘ内から通気口２２ｑを介して流体を排出したりすることができるようになっている点で第１実施形態と異なる。ここで、通気口２２ｑは、後述する排気装置や流体供給源に接続される場合において上記流体吸排口を構成する。