一方、上記の位置Ｆ３では、複数のフィンガー部１１ｃの軸芯が把持対象物Ｐの中心からさらに大きくずれている。このため、制御部１０１による制御下のユニット駆動系の動作によってハンドリングユニット１０が把持動作を行う位置に向かう途中で、図示のように、少なくとも一つのフィンガー部１１ｃの先端が把持対象物Ｐに抵触することがある。このようになると、非把持状態のコレット１１は、保持ばね１５の弾性力に抗して軸線方向基端側へ移動し、その結果、未作動状態の作動体１３の駆動部１３ｃから被動部１１ｔが駆動力を受けてしまい、把持対象物Ｐを掴む前に、把持状態へ移行してしまう可能性がある。このような場合には、把持動作を行う位置に到達する前に、把持対象物Ｐに接触したフィンガー部１１ｃに対応する把持態様検出器Ｓ３～Ｓ５のいずれかの検出信号Ｓｄが変化したり、或いは、上記コレット１１の軸線方向の位置を検出するコレット位置検出器Ｓ２の検出信号Ｓｃが変化することにより、制御部１０１が位置ずれ量とずれ方向とを推定し、ユニット駆動系の位置制御量を修正する。この場合、把持態様検出器Ｓ３～Ｓ５の検出信号Ｓｄが変化したフィンガー部１１ｃがどれか、複数のフィンガー部１１ｃの幾つにおいて検出信号Ｓｄが変化したかを判定することにより、位置ずれの水平方向の方位と量を推定することができる。また、上記位置検出器Ｓ２の検出信号Ｓｄによってコレット１１の退避量を検出することにより、位置ずれの垂直方向の量を推定することもできる。したがって、ユニット駆動系の位置ずれの方位や量を三次元的に検出することができるため、種々の原因による位置ずれを解消することができる。
基端部１２ｂの軸線１０ｘを中心とする中央部分には支持部１２ｄが形成される。この支持部１２ｄには、上記軸孔１１ｘに連通する通気口１２ｑが形成される。一方、先端部１２ｃには、軸線１０ｘが通過する中央部分において本体１２ａの内部に連通する開口部１２ｏが設けられている。この開口部１２ｏ内には、上記コレット１１の複数のフィンガー部１１ｃと、これらのフィンガー部１１ｃの把持面１１ｇによって把持対象物が把持されることとなる把持空間とが配置される。また、この開口部１２ｏの上記本体１２ａの内部に臨む開口内縁は、上記コレット１１の係止段部１１ｄに対して軸線方向先端側から当接するコレット係止部１２ｒとなっている。
上記の非把持状態から把持状態への移行過程において、作動体１３が軸線方向先端側へ移動するとき、作動体１３の支持面部１３ｂはコレット１１の基準部１１ａに対して摺動する。このとき、支持面部１３ｂの表面は軸線１０ｘに沿った面となっているため、これと同様の表面を有する基準部１１ａを備えるコレット１１の軸線１０ｘに対する同軸状の位置及び姿勢は保持される。また、コレット１１が外力を受けない限りは、保持ばね１５によりコレット１１の係止段部１１ｄはハウジング１２のコレット係止部１２ｒに当接した状態に維持されているので、ハウジング１２に対するコレット１１の軸線方向の位置は固定されている。これらの構成により、上記移行過程では、コレット１１の複数のフィンガー部１１ｃは、軸線１０ｘに対する同軸状の位置及び姿勢、並びに、軸線方向の位置が保持された状態で、把持対象物に対して高精度（高い把持精度及びその繰り返し精度）で作動する。
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例えば、コレット１１は自動調心機能を有するので、基本的には、把持状態において複数の弾性変形部１１ｂ又はフィンガー部１１ｃの弾性変形量や歪などに大きな差異はないが、大きな差異がある場合には把持態様に何らかの不具合が生じていると考えることができる。例えば、把持対象物Ｐが柔らかい上に、把持動作時のハンドリングユニット１０の軸芯位置がずれていたことにより、複数のフィンガー部１１ｃが把持対象物Ｐを把持する際に偏心した状態で把持対象物Ｐを噛み込んでしまい、その結果、コレット１１の調心機能が発揮されずに、偏心状態のままで把持状態になった場合には、各フィンガー部１１ｃの把持態様が異なったまままとなるため、上記の大きな差異が生ずる可能性がある。したがって、この場合には、一旦、非把持状態に戻してから、圧力調整器Ｐ１の流体圧を低下させ、把持力を低下させた状態で、再度、把持状態に移行させる。また、上記とは逆に、把持力が弱すぎることによって把持対象物Ｐが把持面１１ｇからずれる場合にも、把持態様検出器Ｓ３～Ｓ５の検出信号Ｓｄによってこれを検知し、一旦、非把持状態に戻してから、流体圧を高めた上で、再度、把持状態へ移行させるか、或いは、そのまま流体圧を高めて把持力を増大させる。なお、把持態様検出器Ｓ３～Ｓ５としては、複数の弾性変形部１１ｂ又はフィンガー部１１ｃの間の検出値の異同或いは差若しくは比ではなく、各弾性変形部１１ｂと、これに接続されるフィンガー部１１ｃとの間の軸線方向の歪量を検出することによって、フィンガー部１１ｃが把持対象物Ｐを把持している把持力そのものを検出することも可能である。この把持力の検出値は、上記複数の弾性変形部１１ｂ又はフィンガー部１１ｃの間の検出値の異同或いは差若しくは比と同様に用いることができる他に、把持対象物Ｐの硬さを判定（推定）するデータとして用いることができるので、このデータに応じて、上記流体圧の調整により把持力を適切な範囲に修正することも可能である。
前記軸体の前記先端部に設けられ、加工工具の軸部をチャックするチャック部と、を備えたことを特徴とする加工工具用保持具。 前記軸体は、前記環状弾性体に支持される大径胴部を有し、
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作動体１３には、軸線１０ｘに沿って基端部から先端部まで延在する筒状（スリーブ状）に構成される。作動体１３の内周部には、上記コレット１１を収容する軸孔１３ａが設けられる。この軸孔１３ａに臨む軸線方向の一部には、上記コレット１１の基準部１１ａを軸線方向に摺動可能に支持する支持面部１３ｂが形成される。図示例では、この支持面部１３ｂは、軸線１０ｘを中心とする円筒内面で構成される。また、作動体１３には、上記コレット１１の被動部１１ｔに駆動力を与える円錐状の傾斜面で構成される駆動部１３ｃが設けられる。この駆動部１３ｃが上記被動部１１ｔに当接することによって上記弾性変形部１１ｂが弾性変形し、上記フィンガー部１１ｃが把持対象物を把持する方向（図示例では内周側）に移動する。また、作動体１３の先端部（駆動部１３ｃ）には、上記規制溝１１ｐに対して軸線方向に移動可能に導入された内周側規制ピン１６が取り付けられる。この内周側規制ピン１６と規制溝１１ｐの係合は、上記コレット１１と作動体１３の軸線１０ｘの周りの相対的な回転を規制する。さらに、この規制構造とは異なる軸線１０ｘの周りの角度位置において、作動体１３の先端部には、上記ハウジング１２に取り付けられた外周側規制ピン１７が軸線１０ｘに沿って移動可能に収容される、外周側に開放された規制溝１３ｐが設けられる。この外周側規制ピン１７と規制溝１３ｐの係合は、上記作動体１３と、ハウジング１２との軸線１０ｘの周りの相対的な回転を規制する。
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前記筒体と前記軸体とを相対回転不能に前記筒体と前記軸体とにわたり設けられ、前記筒体の回転を前記軸体に伝達する係合部と、
前記軸体の前記先端部に設けられ、加工工具の軸部をチャックするチャック部と、を有する加工工具用保持具を前記工作機械に取り付け、かつ前記チャック部に前記加工工具をチャックし、
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